微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域.随着MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技术和IC(Integrated Circuit)技术的飞速发展,把压力传感器及其信号处理电路集成在同一芯片上成为可能,并成为国内外的一个研究热点.本文对单片集成化的微气压传感器进行了基础研究,用分立的集成芯片组建了一个SOC(System on a Chip)式微气压测试仪.该测试仪主要由微气压传感器、单片机以及显示器组成.本文设计的微气压传感器的制作工艺与集成电路工艺兼容,结构上主要包括加热电阻、敏感元件和测试电阻等三部分.其中,加热电阻采用恒功率的加热模式,敏感元件为基于IC工艺的集成温度传感器AD590.当气压在一定范围内变化时,加热电阻通过气体传递到AD590的热量将发生变化,从而引起敏感元件温度的改变,因而可以通过测量敏感元件的温度来测量气体的压力.考虑到系统的功能要求和低功耗原则,设计了以仪用放大器INA114为核心器件的信号处理电路,并用MSP430F135单片机控制整个测量过程,完成数据的A/D转换、测量结果的显示.为了实现计算机与测试仪的实时通讯,开发了基于LabVIEW语言的串口通信程序,以便更直观、实时地显示和分析测试数据.本文采用分立集成芯片组建的微气压测试仪,实现了微气压的测试,为最终实现单片集成微气压传感器奠定了基础.
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上传时间: 2021-07-29
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上传时间: 2022-09-02
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上传时间: 2021-01-11
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上传时间: 2021-01-18
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上传时间: 2021-08-13
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上传时间: 2021-12-07
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上传时间: 2022-09-14
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上传时间: 2021-01-04
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上传时间: 2021-05-30
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资源简介:LoRaWAN与LoRa的基础知识简介
上传时间: 2021-07-07
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上传时间: 2021-09-04
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上传时间: 2021-11-09
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上传时间: 2022-01-07
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上传时间: 2022-09-07
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上传时间: 2022-09-22
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上传时间: 2021-01-02
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资源简介:数字超声诊断设备在临床诊断中应用十分广泛,研制全数字化的医疗仪器已成为趋势。尽管很多超声成像仪器设计制造中使用了数字化技术,但是我们可以说现代VLSI 和EDA 技术在其中并没有得到充分有效的应用。随着现代电子信息技术的发展,PLD 在很多与B 型超声成...
上传时间: 2021-01-26
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上传时间: 2021-02-07
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上传时间: 2021-04-28
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上传时间: 2021-08-28
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上传时间: 2021-08-31
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上传时间: 2022-09-19
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资源简介:TCSC对系统暂态稳定性影响的仿真研究..
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