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容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究

  • 资源大小:120
  • 上传时间: 2022-09-11
  • 上传用户:laipibaobao
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: CCRF 容性 实验

资 源 简 介

利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路,对容性耦合射频(CCRF) 激励激光器放电特性进行研究,得出容性耦合射频激励激光器等

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