首页|资源下载
登录|注册

您现在的位置是:电子研发网 > 资源下载 > 微电子机械系统技术及其应用

微电子机械系统技术及其应用

资 源 简 介

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应

相 关 资 源