晶圆加工是单晶硅衬底和集成电路制造中的关键技术之一,为了得到更稳定的硅片,提高其平整度和表面洁净度,国内外技术人员越来越注重减薄与抛光设备的研究与改进。介绍了针对硅片平坦化工艺的减薄设备及现阶段加工过程中防止碎片的技术方法;介绍了化学机械抛光设备的技术发展现状以及针对硅片抛光的后清洗工艺。
Silicon substrate processis one of core technology in IC fabrication. For steady and better surface of silicon wafer,Researchers are paying more and more attentions on the structures of Grinding and Polishing. This paper introduces the technology of silicon substrate actuality. Mainly about the measure of decreasing wafer scrap. Analyzes the technology and development of the polishing and cleaning process of silicon wafer.
资源简介:晶圆加工是单晶硅衬底和集成电路制造中的关键技术之一,为了得到更稳定的硅片,提高其平整度和表面洁净度,国内外技术人员越来越注重减薄与抛光设备的研究与改进。介绍了针对硅片平坦化工艺的减薄设备及现阶段加工过程中防止碎片的技术方法;介绍了化学机械抛光设...
上传时间: 2021-12-21
上传用户:如若为云
资源简介:本论文主要对无线扩频集成电路设计中的信道编解码算法进行研究并对其FPGA实现思路和方法进行相关研究。 近年来无线局域网IEEE802.11b标准建议物理层采用无线扩频技术,所以开发一套扩频通信芯片具有重大的现实意义。无线扩频通信系统与常规通信相比,具有很强...
上传时间: 2021-01-29
上传用户:zleason
资源简介:进入21世纪以来,随着经济的快速发展,我国城市照明耗电量也在快速增加。我国城市公共照明占我国总的照明耗电量约30%,而传统的城市道路照明管理系统因为不具备调光功能,这与“绿色照明”工程的概念及我国“十一五”计划中提出的节能要求相背。在此背景下本...
上传时间: 2021-12-21
上传用户:wloves
资源简介:tyw 专辑类----单片机专辑 Motorola集成电路应用技术丛书-网络与接口技术-470页-10.2M.rar
上传时间: 2021-01-29
上传用户:changqijie520
资源简介:温馨照明的RGB LED的驱动与调光技术
上传时间: 2021-04-04
上传用户:jiashan76
资源简介:LED特性和白光LED的基础知识与驱动,写的很不错值得赞一个
上传时间: 2021-05-30
上传用户:4myth1c
资源简介:引言:针对一般电气商店只能购买到小功率的调光器,设计一个千瓦级的大功率调光器,利用双向触发二极管与双向可控硅等元件构成调光电路,通过调节两个电位器,可以改变双向可控硅的导通角,从而改变通过灯泡的电流(平均值)实现从熄灭到最亮的连续调光,如果将灯泡...
上传时间: 2021-06-29
上传用户:王波
资源简介:本书详细讲述了半导体集成电路设计的方法、流程和技巧,适合初学者使用。书中还介绍了多种常用电路的原理及应用。
上传时间: 2022-02-21
上传用户:yiqiuccc
资源简介:为了克服继电器在集成电路测试板上触点烧蚀故障率较高,断开时易产生电磁干扰和开关时间过长等缺点,提出了一种基于MOS管的新型转换开关电路,能更加有效地测试芯片,显著降低芯片的成本。本文详细讨论了集成电路测试的要素和基本原则,继电器在测试板上的应...
上传时间: 2022-09-16
上传用户:小虫子0405
资源简介:SKYLAB就有两款应用成熟的蓝牙室内定位方案,分别是基于蓝牙Beacon的终端侧定位和基于蓝牙网关的网络侧定位,两种定位方案在前面的文章中都有详细介绍过,本篇SKYLAB君将详细分析下终端侧定位与网络侧定位的区别。
上传时间: 2021-03-14
上传用户:qx207811
资源简介:水是人类生活中不可缺少的物质,是人类生存的必需品。由于华北地区地处半干旱地区,流经的河流不多,水资源匮乏。加之人口密度较大,工农业用水量不断增加。造成地下水位不断下降。因此,合理、有效地利用地下水资源已迫在眉睫。本课题根据自来水公司的需求,...
上传时间: 2021-06-21
上传用户:1182287774
资源简介: 针对我国北方温室生产现状和温室产业化发展的需求,进行分布式、智能化日光温室的研究。研制过程中考虑到保证系统的低成本以及智能测控器能够灵活运行于“在线”和“离线”两种工作方式。整个系统以PC机为主监控服务器、以80C196KC单片机为智能控制节点,...
上传时间: 2021-09-15
上传用户:火火火火
资源简介:随着信息技术的迅猛发展,网络应用日益普及,多媒体系统也得到了广泛的应用。数字视须的编解码是多媒体系统的核心技术,是多媒体系统实际应用时的核心模块。视频编码器的实现目前主要有三种方法:一是软件实现,基于通用的PC机。但通用PC并非专为视频处理而产...
上传时间: 2021-11-10
上传用户:ppch
资源简介:机器视觉技术是近年来现代科学技术发展的热点领域,因其具有精度高、速度快、非接触等诸多优点,在各个工程技术领域不断获得日益广泛的应用。棉花中的异性纤维对于棉纺织品不良影响很大,使产品的质量等级下降,进而影响企业的经济效益,同时也会恶化棉纺织企...
上传时间: 2021-12-12
上传用户:a18270826679
资源简介:使用混沌与分形分析的例程,相关分析过程的matlab方法,处理信号的时频分析
上传时间: 2022-09-05
上传用户:clcfang
资源简介:摘要:提出一种多功能单片机与CPLD实验板的设计方案。该实验板以单片机最小系统、CPLD最小系统为控制中心,其集成电源模块、输入模块、输出模块、串行总线模块、障碍物检测模块及模拟量模块,能够完成通用8051内核单片机的仿真与下载实验,完成CPLD实验。实验...
上传时间: 2022-09-18
上传用户:闪亮的马路
资源简介:负关联规则反映了数据项之间的互斥关系,能提供很多有用的信息,在决策支持中起重要作用,但现行的挖掘算法主要是针对单一数据库的挖掘,多数据库中负关联规则的挖掘还未引起重视。该文介绍负关联规则的研究现状、主
上传时间: 2021-01-01
上传用户:luokh
资源简介:随着电力电子器件及其它非线性负荷在电网中大量的投入使用,致使电网的非线性、不稳定性和不对称性日趋严重。通过对电能质量进行在线实时监测、记录和分析,可以为改善电能质量、制定有关电能质量的治理措施以及确定治理装置的技术参数提供必要的依据。 嵌入...
上传时间: 2021-01-04
上传用户:cjr103
资源简介:·期刊论文:基于Gibbs随机场的有限混合模型改进与脑部MR图像的稳健分割
上传时间: 2021-01-19
上传用户:wss635012489
资源简介:·期刊论文:Live Wire和Watershed Algorithm在图像分割中的应用及改进
上传时间: 2021-01-20
上传用户:刘嘉琪宝宝
资源简介:资料->【C】嵌入系统->【C0】嵌入式综合->【1】嵌入式技术->【0】嵌入式技术->32位嵌入式系统现状及教学与科研应用.pdf
上传时间: 2021-01-24
上传用户:ynyshu
资源简介:gerber反转pcb中遇到的问题及解决思路,主要设及drill导入及相关设置
上传时间: 2021-04-12
上传用户:WANGWEI
资源简介:·基于重量化与多特征描述的彩色图像检索
上传时间: 2021-04-15
上传用户:momaek1994
资源简介:一、射频(简称RF )射频就是射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000 次的交流电称为低频电流,大于10000 次的称为高频电流,而射频就是这样一种高频电流。通常是指30MHz ~ 4GHz 频段。1.1 无线通讯系统二.天线定义:是在无线电收发系...
上传时间: 2021-05-14
上传用户:cc天地一沙鸥
资源简介:本文首先阐述了对电网进行雷击过电压计算的意义以及雷击过电压计算的现状和发展趋势,在此基础上分析了过电压计算的基本理论和方法,分析了贝杰龙算法用于电网雷击过电压计算的重要意义。文中利用贝杰龙方法建立了输电线路、电感、电容和电阻等元件的等效模型...
上传时间: 2021-06-02
上传用户:zhang365947064
资源简介:SFBC与TM3或TM4的THP预编码实现,功率分配因子可配
上传时间: 2021-06-09
上传用户:wenjin1314
资源简介:IPC-6012D刚性印制板的鉴定及性能规范中(英)文版
上传时间: 2021-07-04
上传用户:jl1fly
资源简介:IPC-6012DA刚性印制板的鉴定及性能规范汽车要求附件中英文版
上传时间: 2021-07-06
上传用户:zyp851816282
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上传时间: 2021-07-14
上传用户:s524
资源简介:基于电话网实现上位机与三菱PLG的远程通信 Implementing Remote Communication Between Host Computer and Mitsubi
上传时间: 2021-08-08
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