SAM E54 Xplained Pro User's Guide用户指南
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标签: sam e54 xplained pro 用户 指南
上传时间: 2021-03-04
上传用户:ytpdq
采用经稀释的光刻胶在喷胶机上对打孔的基片进行了雾化喷涂试验,在通孔结构表面实现了光刻胶的均匀涂覆。在同一基片上选取了十个通孔,采用扫面电镜对基片表面、通孔边缘及通孔侧壁中部和底部四处的光刻胶厚度进行了测量,得到的平均膜厚分别为10.2、8.8、6.1和5.3μm,各处厚度均匀性均小于±10%。The diluted photoresist was ...
/dl/206969.html
标签: 薄膜 电路 结构 喷涂 工艺
上传时间: 2021-07-25
上传用户:liew