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声光固体光学位置传感器

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  • 上传时间: 2021-01-08
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  • 标      签: 声光 固体 光学

资 源 简 介

摘要:本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光(AO)固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感
器的系统结构、工作原理、特点和3-D 表面分布测量结果。
关键词:有

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