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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)

  • 资源大小:107
  • 上传时间: 2021-01-11
  • 上传用户:chenyiebo
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 提高 微压传感器 压力

资 源 简 介

ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求

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