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基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制

  • 资源大小:165
  • 上传时间: 2021-01-18
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  • 标      签: 信号 激光

资 源 简 介

介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速高精度控制。 
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